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超净高纯试剂 食品清洗消毒剂 专用清洗剂 其它

产品目录

Product catalog

超净高纯试剂广泛应用于太阳能光伏行业、液晶显示、电子元器件、半导体行业制程的清洗或蚀刻


品名分子式纯度级别
UP-SSUP-SUPEL
过氧化氢H202√√√√
盐酸HCI


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硫酸H2S04
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硝酸Hn03


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氢氟酸HF
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氨水NH3,H20

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醋酸C2H402


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氢氧化钠Na0H


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氢氧化钾K0H


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其他高纯试剂按照客户要求研发生产




产品标准

Product standard
超净高纯电子化学品标准规格
EI级UP级UP-S级UP-SS级
中小规模集成电路及电子元件加工工艺0.8微米以上集成电路及TFT-LCD制造工艺0.2-0.8微米集成电路加工工艺0.18-0.09微米线宽集成电路加工工艺
控制1微米粒径粒子经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子
金属杂质含量小于100ppb金属杂质含量小于10ppb金属杂质含量小于1ppb单项金属离子杂质含量≤0.1ppb
达到SEMI C1 C2标准在100级净化环境中灌装，达到SEMIC7标准在100级净化环境中灌装，达到SEMIC8标准在100级净化环境中灌装，达到SEMIGrade4标准


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